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高效PERC單晶硅太陽電池局部背表面場的工藝

目前，鈍化發射極和背面電池(PassivatedEmitter and Rear Cell，PERC) 技術已成為光伏行業中提升晶硅太陽電池轉換效率的主流高效技術。PERC 技術是通過在硅片的背面增加一層鈍化層( 氧化鋁或氧化硅)，對硅片起到鈍化的作用，可有效提升少子壽命。為了防止鈍化層被破壞，影響鈍化效果，還會在鈍化層外面再鍍一層氮化硅層。PERC 技術中引入的背面鈍化可將電池背表面載流子的復合速率降至 50 cm/s 以下，表面懸掛鍵降至1011 eV?cm2 以下，因而可改善電池背面復合，提升電池的少子壽命。此外，PERC 單晶硅太陽電池的背面疊層鈍化膜起到了背反射器的作用，可將更多的長波長的光反射回電池，從而提升電池的長波響應。但是由于PERC 單晶硅太陽電池的背鈍化層為絕緣層，無法與鋁背場形成電極通路，因而，需要通過激光在硅片背面開槽，形成PERC 單晶硅太陽電池的局部背表面場.

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