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石墨制品在半導體、光伏產業領域的應用

1應用市場發展擴大的過程

半導體的發展與石墨材料在半導體工業中的應用是分不開的。在半導體工業中，直拉單晶爐的加熱系統大量采用高純石墨材料。還在半導體硅片加工（包括區熔、外延、外形加工等）中作為輔助工具、部件；在半導體硅片用多晶硅材料的生產中為輔助工具、部件。電子工程用石墨制品，首先是實現在半導體工業中得到應用。進入21世紀，光伏產業得到了迅速的發展，太陽能電池用多晶硅錠材料在產量與市場上都出現了突飛猛進的增大，這也給石墨制品在光伏產業領域提供了一個發展前景廣闊的新市場。太陽能電池硅片所需要的重要原材料鑄錠多晶硅，在其生產裝置鑄錠爐中開始大量的采用高純、優質的石墨材料。

1.1石墨制品的半導體應用市場概況

直拉單晶爐內使用的石墨部件是一類易耗件，它由各種高純石墨加工而成。例如其中的石墨坩堝及其他石墨部件采用了高純細顆粒結構石墨；石墨加熱器采用了高純各向同性石墨；石墨保溫罩和石墨蓋板采用高純中顆粒結構的石墨。

1.2石墨制品的太陽電池應用市場概況

在生產鑄錠多晶硅設備上，多個組件是需要石墨材料。特別是鑄錠爐加熱器中使用的加熱材料----高純石墨，以及所用的隔熱材料---高純碳氈隔熱材料，都是目前鑄錠多晶硅設備重要的、必不可少的配套材料。

由于鑄錠爐加熱器的加熱溫度很高（超過1600℃），它的加熱材料又要求不能與硅料反應、不對硅料造成污染，可長期在真空及惰性氣氛中使用。符合使用條件可供選擇的加熱器有金屬鎢、鉬和非金屬石墨等。由于鎢、鉬價格昂貴，加工困難，而石墨來源廣泛，可加工成各種形狀。另外，石墨具有熱慣性小、可以快速加熱，耐高溫、耐熱沖擊性好，輻射面積大、加熱效率高、且基本性能穩定等特點。正因為如此，石墨材料已成為了鑄錠爐加熱器中首選的加熱材料。鑄錠爐加熱器對于隔熱材料有著嚴格的要求。它必須是耐高溫、密度低、導熱小、蓄熱量少、隔熱效果好、放氣量少、重量輕、膨脹系數小的材料。因此在眾多的耐火保溫材料中以高純碳氈最為理想。

上述所舉例的兩類在半導體、光伏產業領域應用的石墨制品，幾年前還是主要是由國外全部進口（或者是由我國內地的外資企業提供）。但由于我國石墨行業、半導體材料行業、電子工業設備行業的共同努力，我國自行生產（深圳市石金科技股份有限公司）的這兩類石墨配套無論在制造技術上，還是在應用技術上都取得了巨大的進步，市場的格局也得到了很大的改變。這也給我國石墨行業在此方面開拓新市場提供了新機遇。但同時也需要看到，在我國大規格、高純各向同性石墨的市場在迅速增大的同時，我國在此方面的制造技術仍有不適應的方面，技術仍與國外先進國家有很大的差距。石墨制品作為微電子、光伏產業的重要基礎裝備材料，需要我國國內不斷在技術獲得進步，與半導體行業、光伏電池用硅材料制造行業加強合作，進一步投資發展為其配套的高檔石墨制品，是一件勢在必行的重要工作。

本文出自深圳市石金科技股份有限公司，公司是集銷售、應用開發，產品加工的石墨專業廠家，專門為模具行業、機械行業、真空熱處理爐、電子半導體及太陽能光伏產業等提供石墨材料、石墨電極和相關的石墨制品，歡迎致電13662687390