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發布時間：2019-11-12 點擊次數：11806

污染類型	易污染對象	污染原因	備注
膜后不可去小白點	鍍膜前wafer	少量微顆粒膜前附著到wafer上。鍍膜時SIN層沒能渡到wafer表面，造成小白點。	產生不良片
膜后不可去小白點	鍍膜前wafer	氮氣不清潔（沒裝氮氣過濾器），吹出白色微小顆粒。膜前附著到wafer上	產生不良片
膜后可去掉小白點	膜后wafer	氮氣不清潔，吹出白色顆粒（可吹掉），膜后附著到wafer上。	可吹掉，產生一定量不良片
膜后可去掉小白點	膜后wafer	膜后微顆粒附著到wafer上（可吹掉），	可吹掉，產生量少不良片
白色，灰白色霧狀附著物	氣流片（wafer）石墨舟	特氣管道殘遇硅烷（濃度很低），隨氮氣沖出。在石墨舟出來的過程中造成明顯的氣流痕跡。	污染石墨舟（一般為白色，或者灰白色），產生大量不良片。
土灰色雪花狀漂浮物	石墨舟，wafer 爐管	硅烷羊角閥,流量計有漏（濃度較低），直接在爐門口燃燒，產生白色，灰色粉塵。	污染石墨舟，爐管，產生大量不良片。

污染類型	解決措施	預防措施
膜后不可去小白點	清理特氣孔，吹掃特氣管道	制作吹掃工藝，定期進行吹掃工藝；潔凈，爐管及進出舟環境。
膜后不可去小白點	吹掃氮氣管道，跟換，安裝氮氣濾芯。	購買氮氣濾芯，定期更換氮氣濾芯
膜后可去掉小白點	吹掃氮氣管道，清理，跟換，安裝氮氣濾芯。	購買氮氣濾芯，定期更換氮氣濾芯
膜后可去掉小白點	清理特氣孔，吹掃特氣管道。	協助工藝去部掉出爐管15slm N2。潔凈，進出舟環境。
白色，黃色霧狀附著物，氣流片，白舟	發現有異常，及時停止制程，立即測試硅烷羊角閥，流量計，發現有漏。及時跟換羊角閥流量計。	發現類似情況及時停止工藝制程。更換相應備件。購買羊角閥，3slm流量計備品，備件，減少石墨舟的污染
雪花狀漂浮物	發現有異常，及時停止制程，立即排查，流量計，羊角閥。如果硅烷羊角閥竄氣，更換硅烷羊角閥	發現類似情況及時停止工藝制程。更換相應備件。購買羊角閥備件，減少石墨舟的污染。